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EQC

 

Equipmentintegration für Halbleiter und Elektronikindustrie

Basierend auf unserer Jahrzehnte langen Erfahrung in der Charakterisierung, Spezifikation und Integration von Equipment in der Halbleiter und Elektronikindustrie wurde von uns die Lösung EQC entwickelt.

Komplexe Anlagen können über einfache Datenbankkonfiguration mit minimalem Aufwand schnell integriert werden. Dadurch erhalten Sie sofortigen Zugriff auf die Funktionen:

  • Speicherung von Prozessdaten und deren automatisiertes Sampling (MDE)
  • Erkennung von Prozessen, Abläufen und Unterprozessen
  • Tracking und Tracing (Los, Batch, Carrier, etc.)
  • Speicherung von Anlagenzuständen incl. Prozesskammern
  • Anbindung an BDE-Systeme (automatisierte Betriebsdatenerfassung)
  • Alarme und Anbindung an Störmeldesysteme
  • Selbstaufdatung

Zusätzlich bietet EQC ein scripting für equipmentspezifische Abläufe, welches durch den Kunden  jederzeit editiert und erweitert werden kann.

Durch sein innovatives Event-Broker-Konzept ist EQC in der Lage Informationen auch an andere Applikationen weiterzuleiten. Über einen Port-Proxy ist auch die Anbindung von physisch entfernten Anlagen möglich.

EQC unterstützt den SEMI Standard mit Funktionen wie Dynamic Event Reporting, Tracing/ Datensampling, Steuerung der Anlage über Remote-Commands und vieles mehr.

Remote User Interface

Config User interface

Config user interface

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